氣體質量流量控制器在離子氮化設備的應用

      對于一些從事離子氮化設備生產的公司，他們的主要產品一般有LD系列離子氮化爐、LDMC系列脈沖離子氮化爐、帶輔助加熱的離子氮化爐。供氣系統由氨氣瓶、氨氣減壓器、氣體質量流量計和輸氣管道組成。設備配有兩只流量計，分別是用于氨氣流量調節和滲碳氣流量調節，兩種氣體經過流量計后混合通入爐內，通過調節流量比例可實現氮碳共滲工藝（軟氮化）。弗羅邁根據這種產品的工藝要求定制的氣體質量流量控制器，不受溫度、壓力等狀況的干擾，用于安裝到此類設備上，能準確地控制兩種氣體的流量，并且靈敏、響應速度快，實現了兩種氣體的混合比例，從而提高了碳氮共滲工藝。